他怎么会……？

愣了好几秒，傅教授才从喉咙里挤出一句，带着浓浓的怀疑和试探：“你……你怎么知道EUV？还知道收集镜？你看过相关论文？”

他的潜台词是：你小子是不是提前做了功课，背了几个名词来我这装大尾巴狼？

林飞笑了笑，那笑容轻松自然，完全没有被质疑的窘迫。

他不仅没回避，反而顺着傅教授的话，往更深处走了一步。

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“论文看过一些，ASML和IMEC的技术报告也略有涉猎。不过纸上谈兵终觉浅，我更好奇傅教授您这边的实践方案。”

“比如，您这套主动冷却系统，是针对镜面基底的热膨胀系数做的梯度材料设计吗？”

“还有原位清洁，是用低能离子束还是脉冲激光？对膜层的损伤阈值怎么控制？”

好家伙！这一连串问题，不仅接住了傅教授的试探，还反手抛出了更具体、更硬核的技术细节！

梯度材料设计？低能离子束？脉冲激光？损伤阈值？

这已经不是背名词了，这简直像是在参加一场顶尖的光学工程研讨会！

傅国生教授的眼睛瞬间瞪大了一圈！脸上的怀疑被巨大的惊讶取代！

这年轻人……不简单！绝对不简单！

能问出这些问题，说明他对EUV光刻的技术难点和可能的解决方案有相当深入的思考！

这绝不是临时抱佛脚能装出来的！

傅教授心里那点“资本家不懂技术”的偏见，开始动摇了。

他收起了一丝轻视，语气虽然还带着点学术大佬的倨傲，但已经不再是纯粹的拒人千里之外了。

“哼，梯度材料成本太高，工艺也复杂。我们用的是多层复合结构，结合微流道主动液冷，成本可控，散热效率也够用。原位清洁嘛……”

他顿了顿，似乎有点得意于自己的独创，“我们没用离子束也没用激光，那玩意儿太娇贵，容易伤镜子。我们搞了一套低压等离子体辅助的热解吸装置，效果不错，就是参数调起来麻烦点。”