第254章 光源和反射镜难点

“寿命突破5秒……10秒……20秒!”

监控屏上的曲线几乎稳如直线,实验室里爆发出压抑不住的惊呼声。有人激动地捂住嘴,有人红着眼喊出声:“成功了!真的稳住了!”

伍思辰看着那道持续燃烧的光弧,眼神如刀锋般锐利。他声音不大,却震得每个人心头发烫:

“记住,这只是第一步。但今天,你们证明了——别人说不可能的,我们照样能做到。”

全场爆发出山呼海啸般的掌声与欢呼,科研人员们激动得几乎落泪。那一刻,压在心头的阴霾被彻底击碎。

他们知道,大夏的光刻机,真正点燃了!

光源实验的成功,让团队士气大振,但所有人都清楚:这只是光刻机的一只翅膀。真正能否飞起来,还要看另一只——高精度反射镜。

没有足够稳定的反射率,就无法把极紫外光束精准聚焦到纳米级的晶圆上。前期使用的钼硅多层镜,寿命不过几次点火,便被烧成了黝黑的废片。

于是,所有的希望都压在伍思辰提出的“碳纳米管复合镀层”上。

第一次实验

厚厚的防护罩后,镀层完成的第一片反射镜缓缓送入光源通道。控制台内,研究员们屏住呼吸。

光源点火!极紫外光束喷薄而出,打在镜面上。

最初的几秒,监测曲线平稳,反射率高达72%。全场振奋。

可还没等人欢呼,监控画面陡然闪烁,镜片边缘骤然龟裂,像蛛网一样瞬间蔓延。

“裂了!”

轰的一声,实验舱内的警报响起,反射率数据直线坠落。那片来之不易的试片,就这样报废。

所有人神色惨白,仿佛被泼了一盆冷水。

第二次实验

伍思辰没有说话,只是让材料组重新调配工艺。

这一次,他们在碳纳米管镀层下增加了合金缓冲层。

新镜片缓缓进入光源舱,点火!

光弧稳定燃烧,反射率保持在70%以上,整整一分钟,众人屏住呼吸,仿佛时间都停止了。